全自動氦質譜檢漏儀作為高精度檢測設備，在航空航天、半導體制造、核工業等領域發揮著重要作用。為確保其長期穩定性和準確性，定期的校準與維護是不可少的。以下將從校準和維護兩個方面詳細闡述全自動氦質譜檢漏儀的保養方法。 校準
1.校準周期與標準
根據制造商的推薦和儀器的使用頻率，通常應定期（如每季度或每年）對氦質譜檢漏儀進行校準。校準的目的是確保儀器的測量精度符合標準要求。校準應使用具有已知漏率的標準漏孔，其漏率應在儀器的測量范圍內，并且精度得到保證。
2.校準環境與條件
校準應在穩定的環境溫度和濕度條件下進行，一般建議環境溫度為(23±5)℃，相對濕度不大于80%，且校準過程中室溫變化不超過±1℃。同時，校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾，以保證校準結果的準確性。
3.校準步驟
-準備階段：確保儀器處于預熱狀態，所有連接部件安裝正確，無漏氣現象。
-零點校準：首先進行零點校準，即在沒有氦氣泄漏的情況下，調整儀器使其示值為零。
-標準漏孔校準：將已知漏率的標準漏孔接入檢漏儀系統，待示值穩定后讀取并記錄數據。重復測量多次（一般三次），取平均值以減少誤差。
-數據處理：根據標準漏孔的漏率和檢漏儀的示值計算示值誤差，并進行必要的溫度修正。如果誤差超出允許范圍，需進行進一步的調整或維修。
4.自校功能
部分全自動氦質譜檢漏儀具備自校功能。在發現示值誤差較大時，可利用此功能進行內部校準，以恢復儀器的精度。
維護
1.清潔保養
-外殼與表面：定期使用柔軟的布或紙巾擦拭儀器外殼和控制面板，去除灰塵和污垢。避免使用刺激性和腐蝕性的化學物品，以防損壞表面材質或影響儀器性能。
-真空系統：保持真空腔體、真空管道、真空閥門的清潔干燥。定期清潔這些部件，防止粉塵、顆粒物等污染物進入并污染真空系統。
2.氦氣供應檢查
確保氦氣供應充足，并且供應管路未受損。檢查供應系統的壓力表和流量計，確保其正常工作。如發現異常，及時修理或更換。
3.真空泵維護
-定期檢查真空泵泵油位和顏色，如發現油位過低或油色變深，應及時更換泵油。
-定期進行前級真空泵的換油和深度保養，以及電磁閥組的超聲清洗，確保真空泵的正常運行。
4.密封性能檢查
定期檢查真空系統的密封性能和高壓密封接口是否老化，并及時更換老化的密封件。這有助于防止漏氣并維持真空系統的性能。
5.探測器保護
漏氣探測器是氦質譜檢漏儀的核心部件之一，需特別保護。避免敲擊或損壞探測器，保持其表面干凈和無雜質。定期檢查探測器的工作狀態，如有問題及時維修或更換。
6.軟件與固件更新
定期關注制造商發布的最新軟件和固件版本，并根據需要下載并安裝。這有助于提升儀器的性能和穩定性，并修復已知的問題。
7.儲存與運輸
在不使用氦質譜檢漏儀時，注意妥善儲存和運輸。避免長時間曝露在潮濕、高溫和塵埃環境中，以防止儀器受損和性能下降。使用適當的包裝和保護材料，確保儀器在運輸過程中不受損壞。
通過遵循上述校準與維護步驟，可以確保全自動氦質譜檢漏儀的長期穩定性和準確性，延長其使用壽命，并為用戶提供可靠的漏氣檢測服務。
